为进一步提高半导体平面工艺课程的教学效果，推进虚拟仿真平台建设，优化实验室大型设备的合理使用和资源配置，12月29日上午，理学院应用物理系通过线上举办了“半导体平面工艺虚拟仿真项目”建设方案论证会。哈尔滨工业大学物理学院院长田浩教授、南京大学物理学院实验中心游彪副主任、吉林师范大学物理学院副院长张勇教授、吉林大学微电子科学与工程系主任李贤斌教授、吉林华微电子股份有限公司产品总监左建伟高级工程师五位特邀专家担任此次论证会评委，理学院张辉副院长、张颖副院长、应用物理系教师和物理教学与实验中心部分老师参加了论证会，会议由应用物理系主任吴丰民教授主持。

吴丰民教授介绍了半导体平面工艺实验室的基本情况，强调虚拟仿真项目建设的重要性和迫切性，是保障半导体平面工艺实验和实践效果的有力手段。希望通过本次虚拟仿真平台建设可行性方案专家论证会进一步将实验室建设发展和学生能力培养向前推进。接下来，赵波老师从半导体平面工艺实验和实践开课条件及开课中面临的问题，进行了详细的介绍，剖析了目前制约半导体平面工艺实践类课程发展的主要问题，从课程如何开设、如何保证质量、如何定位目标及如何与时俱进四个方面凝练发展思路，概括半导体平面工艺虚拟仿真项目建设的必要性，围绕项目可行性调研情况、项目的总体规划、项目的总体目标及服务课程与对象进行了详细汇报。最后总结了虚拟仿真项目建成后的预期成果以及对学生培养方面的深远意义。

各位与会专家分别在虚拟仿真项目建设具体方案、建设目标、建成功能等方面发表了各自看法，对半导体平面工艺虚拟仿真项目建设及本次论证汇报给予充分肯定。并提出了许多中肯的意见和建议。

田浩教授说，项目开发围绕实验室已有设备，凝练出的项目特色鲜明，结合人才培养目标，提高大型设备的运行效率，开发的系统要在使用过程中逐步完善和修正，要注意开发周期的合理把握。

张勇教授充分肯定了该项目建设规划，强调项目创新性强、人才培养价值高，未来申报国家级课程要注意两点：一是开发过程中，要与相关人员密切沟通，保证物理内涵理解到位，有利于项目顺利运行；二是要尽早在实验和实践教学中使用，应用反馈非常重要，系统运行效果和运行参数，都需要准备好。

李贤斌教授评价我校半导体平面工艺虚拟仿真项目走在了东北开设微电子类专业高校的前列，是非常有必要的一个项目，各项模块对应实验工艺、对应度涵盖性高，对学生学习效率有很大帮助，考虑未来申报国家课程，需要注意两点：一是理论课老师应该深入平台开发、配合实验讲解，做足理论储备。二是企业反馈很重要，工艺生产时关键技术的反馈，与企业关联的特色具有重要的指导意义。

游标教授说，一些特殊的实验和实践类课程做虚拟仿真十分重要，在开发过程中项目要与专业充分结合、并且系统可扩展，可以考虑将一些科研成果转化融入，与学科衔接，这一点很重要。并且在系统后续运行中，要做好相应的管理工作。

左建伟高级工程师强调，虚拟仿真项目，线上和线下结合非常重要，特别对于企业来讲，能够让学生掌握理论的基础上，对实践和实验有一定的理解和思考，对于学生进入企业后的角色转换非常关键，在项目建设中要充分考虑与真实实验的差别，在虚防项目中强化器件实现的物理过程。

会议最后，吴丰民主任衷心感谢各位专家的细心指导，会根据专家意见，对建设方案进一步优化，按照国家级虚拟仿真课程建设标准，科学合理地实施项目。虚拟仿真项目可以对实验和实践平台进行有效的补充，对于人才培养起到至关重要的推动作用，激发学生的科研热情、夯实学生的科研技能，促进学生在相关领域就业。